近日，北京理工大学重庆微电子研究院（以下简称“北理微电院”）的算法工程师赵瑞凡和研究生潘腾分别以第一作者身份，在光学领域的国际知名期刊《optics express》(jcr q2, if=3.2)上发表了论文。北理微电院的谢会开教授和陈倩博士担任这两篇论文的通讯作者。

论文一：MEMS-based Fourier transform spectrometers的异步等光程差采样方法

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该研究针对双光路MEMS近红外光谱仪在同步激光标定时出现的光电耦合问题，提出了一种异步采集干涉信号的方法。该方法基于电热MEMS微镜在连续一段时间内的扫描状态变化对光谱无影响的假设，通过实验数据确定了在确保光谱重复度的前提下，激光采集的时间间隔。通过这种方法，从根本上避免了双光路MEMS近红外光谱仪光电耦合对光谱分析的影响，提高了光谱数据模型的预测精度，同时也达到了降低功耗和简化硬件设计的效果。

论文二：用于解耦共振扫描的双轴非对称电热MEMS微镜

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该研究设计并制造了一种新型的非对称解耦微镜，通过建立微镜动力学模型，分析了产生耦合的原因，并提出了频率分离解耦机制。*结果显示，不同驱动臂长度可以有效分离微镜倾斜运动的谐振频率。对制造的电热微镜进行测试，在2 Vpp电压驱动下，成功投射出规则的光栅和李萨如扫描图案，帧率可达30 fps，光学视场为21°×22°。测试结果表明，解耦微镜实现了双轴谐振无耦合扫描，解决了电热MEMS微镜在谐振驱动时的交轴耦合问题。这项技术在光学内窥、激光雷达等需要高速高精度扫描成像的领域具有重要应用潜力，同时为下一代MEMS微镜的优化设计提供了关键理论支持。

北京理工大学重庆微电子研究院（以下简称“北理微电院”）位于西部（重庆）科学城西永微电子产业园的核心区域，是由西永综合保税区和北京理工大学共同创办的高端研发机构，致力于构建中国数字经济产业的感知基座，重点发展先进传感、超宽带通信和医工融合三大方向。截至目前，北理微电院拥有超过9000平方米的办公与实验场地，并投入超过1.5亿元，建成了国内领先的6英寸MEMS微纳工艺研发线，超净面积达1100多平方米。

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