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12-13北方华创“半导体工艺腔室及其控制方法”专利公布北京北方华创微电子装备有限公司近日公布一项名为“半导体工艺腔室及其控制方法”的新专利，申请公布日为2024年10月29日，申请公布号为CN118866735A。...
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