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01-15北方华创“形成沟槽结构、去除沟槽内副产物方法及晶片承载装置”专利公布北方华创微电子装备有限公司一项关于晶片制造的新专利——“形成沟槽结构、去除沟槽内副产物方法及晶片承载装置”——已于2024年8月26日公开，申请公布号为CN11...
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