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06-29
东方晶源“电子束扫描成像中的干扰信号补偿方法、装置及电子设备”专利获授权
天眼查信息显示，东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司近期获得了一项新专利，名称为“电子束扫描成像中的干扰信号补偿方法、装置及电子设备”，授权公告号为CN117...
10-18
东方晶源PanGen平台再添新成员 套刻标记优化工具PanOVL上线
当半导体制造工艺演进到22nm及以下节点时，随着多重图形技术的引入，对不同工艺层之间套刻（Overlay）误差的要求变得越来越高。套刻测量技术可分为基于像面图像...
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